纳米级洁净车间的破壁之战——解码青岛丹佳的微尘控制术

在青岛西海岸半导体产业园，丹佳团队打造的Class 1级洁净车间正刷新行业标准。车间采用层流天花板与多孔地板形成的垂直单向流，风速稳定在0.45±0.05m/s区间，0.1μm微粒浓度控制在1个/m³以内。独创的V型导流墙设计使气流均匀度达到95%，彻底消除传统洁净室常见的涡流死角。

更核心的技术突破在于智能粒子监控系统：128个激光粒子传感器构建的监测网络，每30秒完成全车间扫描，与FFU风机过滤单元联动调节，洁净度波动范围压缩至±3%。某晶圆厂项目数据显示，该车间在黄海潮湿季仍将相对湿度稳定在35%±2%，静电消除效率提升40%，产品良率提高2.3个百分点。