纳米级洁净车间的破壁之战——解码青岛丹佳的微尘控制术
在青岛西海岸半导体产业园，丹佳团队打造的Class 1级洁净车间正刷新行业标准。车间采用层流天花板与多孔地板形成的垂直单向流，风速稳定在0.45±0.05m/s区间，0.1μm微粒浓度控制在1个/m³以内。独创的V型导流墙设计使气流均匀度达到95%，彻底消除传统洁净室常见的涡流死角。
2025-04-14
