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关于光学无尘车间的建设

作者: 点击:1190 发布时间:2021-06-30

目前,超净无尘净化车间主要应用于工业半导体、电子等行业,微电子领域超净无尘净化车间的设计理念与其它行业相比有更高的要求。以下是光学无尘车间的设计要求简介:

一、光学微电子超净无尘车间的平面布置要求:

1.无尘车间洁净生产区域:洁净等级设定为:百级、千级、万级。

2.无尘生产辅助用房:洁净等级设在万级、十万级,一般包括人员进出的洁净用房、进出的物料清洁区和部分车间的办公生活区等。

三、超净无尘车间管理区:洁净等级定为十万级或三十万级,一般包括办公室、会议室、值班室及休息区。

4.车间生产专用设备区:本区域对空气净化等级没有要求,但要求与净化车间设置有效的物理或空气隔离,本区域主要设置净化空调机房、电气室、纯水室、生产气室。

二。超净光学微电子无尘车间装修要求。

1.车间吊顶材料:采用FFU盲板或选用防火彩钢板,吊顶内须可上人,对承重要有详细的工艺。

2.车间内墙装修材料:使用耐火彩钢板,彩钢板厚度50mm,可尽可能有效地覆盖现场面积,该彩钢板在安装时需作接地处理,以便达到静电排出功能。

3.车间地面装修:一般选用环氧自流平或PVC卷材,但无尘车间需对以上两种材料进行抗静电处理。


青岛丹佳净化设备有限公司专业从事无尘车间、洁净车间的净化工程。

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